什麽是MEMS,微機械電子.

  很多非工科讀者，提出要求，希望可以簡單介紹一下文中涉及到的基礎概念。 這裏的解釋，盡量用作者自身的語言來描述。如果大家想仔細研究，請自行上網搜索就好。作者希望用直白的語言，盡量簡單的把事情描述清楚。 —— MEMS，其實有廣義和狹義兩種定義。 狹義上來講，就是用半導體工藝，加工出來的，帶運動部件的微型機械電子裝置或者儀器。 —— 以工業的發展曆史來看，最原始的加工方法，就是人工處理，例如打磨，拋光，鑽孔等。還有一些低能量的製造方法，例如鑄造等。 這些工藝，可以在出土的各種武器，裝備上都能看到。 —— 隨著近代工業革命的興起，隨著蒸汽機，內燃機等動力源的出現。更大的動力，代表著更多的加工方法。 於是我們就看到了車床，銑床。衝壓，鍛壓，擠壓等工藝，也成為了可能。 —— 而隨著半導體工藝的產生，一種新的加工模式誕生了。那就是拍照，蝕刻。 半導體工藝的基礎，就是沉積，覆蓋保護層，光照，衝洗這幾個步驟。通過這幾個步驟，反複的在物體表麵，覆蓋一層層的不同花紋的材料。 整個過程，跟3D打印的過程很接近，隻不過方法不同。 這種方法與傳統方法的最大區別，就是添加，一層層的把材料增加上去。而傳統的工藝，則是刪減，一刀一刀的把多餘的物質，削下去。 用這種方法，通過特殊的排列組合，可以加工出立體的三維結構，這些結構，有一些局部構件，可以在狹小的空間，進行微量的運動，例如顫動。這些動作，又可以被測量和轉化。這樣，我們就得到了微米，乃至納米級的傳感器。 —— MEMS的概念很大，傳感器隻是它的一種用途而已。 從狹義的角度來看，用半導體工藝加工出來的，能夠產生內部運動部件的，就是MEMS。 典型應用包括噴墨打印機的噴頭！ —— MEMS傳感器，還可以廣義去擴散。隻要加工工藝對，哪怕沒有相對運動部件，也可以歸為此類。 從某種意義上來講，隻要尺度是毫米級別的傳感器，肯定都是MEMS的天下了。其它任何一種工藝，都無法加工出這麽細小級別的產品。